UVB波长紫外线灯功率1KW

实验室用小型UV紫外线照射设备

设备型号：QRU-2161-D

用途：光阻材料固化，粘着剂固化，封装胶固化，油墨胶固化，框胶材料固化。

照射装置构成：由灯箱和电源构成。

光源：汞灯 。

功率：300W，500W，800W.

特长：操作简单，小型化，轻量化，可手持，节能。

製品仕様：使用UV汞灯作为光源，光源主要波长为365nm，照度为30mW/cm2.

反射镜：黄金反射镜

冷却：风冷

照射面积：120×130mm

灯箱尺寸：180(W) × 250(D) × 212(H) mm

电源尺寸：300(W) × 370(D) × 395(H) mm 185nm波长紫外线灯供应。UVB波长紫外线灯功率1KW

强紫外线高压汞灯由石英管材制造而成，使紫外线能高程度及大量的穿透，其弧长度/发光长度可由5厘米至300厘米不等，常见功率为每厘米30W至200W，超大功率UV灯一般在每厘米200W或以上操作，该灯光谱有效范围在350-450nm之间，主波峰为365nm，功率由100w-25kw. UV固化在英文中称UV Curing 或 UV Coating，UV固化是光化学反应，即液态的UV照射可固化材料经印刷或涂布到承印物或工件表面，经UV光线照射实现硬化的过程，UV固化与传统的干燥过程相似，但原理不同，传统的干燥一般借助于涂敷材料中溶剂的挥发而形成硬化，而UV固化交联则无溶剂挥发。日本进口紫外线灯ONL-12000B尼康曝光设备点灯用12KW电源。

高压汞灯工作原理处于放电状态时，高压汞灯内部汞蒸气压可以达到51～507kPa，名字由此而来。高压汞灯的灯中心放电，其材质是石英玻璃，在管内充有汞和氩，电极由钨做成。在电极与石英玻璃之间，是用铂金箔形成非匹配气密封接。在外壳内部涂上荧光粉，可以让高压汞灯的光效得到提高，荧光粉能够补充高压汞灯中不足的颜色谱线。放电时波长主要辐射的是365nm、405nm、436nm。高压汞灯从启动到正常工作需要4-10min。高压汞灯特点1.结构简单，成本低，维修费用少。2.比一般灯寿命更长，省电经济。3.发白光，光效长。4.启动时间比较长，通常需要4-10分钟。5.二次启动需要等灯体冷却。

a.接触式曝光（Contact Printing）：掩膜板直接与光刻胶层接触。曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率相当，设备简单。接触式，根据施加力量的方式不同又分为：软接触，硬接触和真空接触。1.软接触 就是把基片通过托盘吸附住（类似于匀胶机的基片放置方式），掩膜盖在基片上面；2.硬接触 是将基片通过一个气压（氮气），往上顶，使之与掩膜接触；3.真空接触 是在掩膜和基片中间抽气，使之更加好的贴合（想一想把被子抽真空放置的方式）软OSRAM紫外线光源采购。

制造高精度的对准系统需要具有近乎完美的精密机械工艺，这也是国产光刻机望尘莫及的技术难点之一，许多美国德国品牌光刻机具有特殊的机械工艺设计。例如Mycro N&Q光刻机采用的全气动轴承设计专利技术，有效避免轴承机械摩擦所带来的工艺误差。对准系统另外一个技术难题就是对准显微镜。为了增强显微镜的视场，许多光刻机，采用了LED照明。对准系统共有两套，具备调焦功能。主要就是由双目双视场对准显微镜主体、目镜和物镜各1对（光刻机通常会提供不同放大倍率的目镜和物镜供用户组合使用）。CCD对准系统作用是将掩模和样片的对准标记放大并成像于监视器上。工件台顾名思义就是放工件的平台，光刻工艺主要的工件就是掩模和基片。高压汞灯应用于光刻胶曝光。曝光设备紫外线灯12KW电源

尼康高压汞灯主要制造商是USHIO?UVB波长紫外线灯功率1KW

ORC制作所生产超高压汞灯，英文：super high pressure mercury lamp，点灯时，汞蒸气压力为100～10000KPa，主要发射波长在365nm，395nm，405nm，436nm，累计光量可达数千kJ/mol(52.3kcal/mol)的汞蒸气弧光灯。短弧超高压汞灯是一种装有一对钍钨电极的球形石英玻壳放电灯。玻壳内充少量启动氩气和定量的汞,极间距离0.2～8mm,功率1,000～350,000W,工作时形成“电极稳定型”电弧, 一般采用垂直点灯,强制风冷。短弧超高压汞灯的有效寿命为750～3000h, 。 短弧超高压汞灯是辐射极强的长波紫外光源应用于集成电路光刻制版工艺。UVB波长紫外线灯功率1KW

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